国内领先的工艺介质系统厂商，由Capex业务逐渐向Opex业务延伸公司创立于2009 年，是一家致力于为泛半导体、光纤通信、医药制造等行业客户提供工艺介质和工艺环境综合解决方案的高新技术企业。作为国内较早开展为泛半导体行业客户提供超高纯工艺介质供应系统的专业供应商，公司具有微污染控制、流体技术、工艺安全等技术的独特优势，由此延伸出流体系统装备、高纯气体等产品和业务，并凭借在相关领域对客户的工艺流程、关键设备和运营管理深刻理解的基础上，持续为客户提供MRO 综合服务。

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下游需求增长+国产替代目的强化，共同推动公司Capex 业务增长公司Capex 业务主要包括高纯工艺介质系统（例如电子工艺设备、生物制药设备等）以及Gas box，被广泛应用于半导体、光伏、生物制药、平板显示等领域。

1）高纯工艺介质系统：根据我们测算，国内半导体用工艺介质系统市场约117 亿元。我们认为，受中美科技战影响，代工厂Capex 进行国产替代的目的性加强，公司产品有望从中受益。在光伏领域，随着TOPCon扩产，公司相关工艺介质系统收入也有望随下游市场扩张而增长。在生物制药领域，随着国内生物制药市场的稳步发展，公司生物制药设备的收入也有望持续提升。

2）Gas box：国内半导体用Gas box 市场规模约50 亿元，然而国产化率不足10%，国产替代需求强烈。公司Gas box 已逐步被国产工艺设备头部厂商北方华创、拓荆、晶盛等采用，在手订单充足，且订单量有望受益于国产替代而持续提升。

积极向气体业务延伸，多个项目将于23H2 投产，促进公司长期发展公司的气体业务包括前驱体、电子特气与大宗气体。国内市场规模约2000 亿元。本土特种气体企业实力逐渐增强，但对比海外企业仍有差距，国内气体市场仍被海外企业占据大部分份额，尤其是前驱体产品。

公司于22 年和23 年开展了多个气体和先进材料生产基地投建项目，其中“合肥高纯氢气项目”、“潍坊高纯大宗项目”、“丽水大宗气、混合气、特种气体项目”以及“铜陵电子材料项目”等项目将分别于23 年下半年到24 年逐步落成投产。公司在铜陵电子材料生产基地投建的前驱体制造基地将覆盖20 余种前驱体产品，涉及硅基、金属基、High-K 和Low-K 四大品类，目前正在客户导入阶段，预计24 年逐步达到量产。

随着公司气体产能逐渐爬坡，相关收入有望持续增长。

投资建议

我们预计2023-2025 年公司归母净利润分别为4.14、5.69、7.64 亿元，对应EPS 分别为1.48 元、2.04 元和2.74 元，最新收盘价对应为PE 22.24、16.17、12.04x。首次覆盖给予“增持”评级。

风险提示

市场需求不及预期风险、竞争加剧风险、原材料采购风险、产能消化不及预期风险。